高溫真空氣氛爐是在真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備，一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)和控溫系統(tǒng)等組成。高溫真空氣氛爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應(yīng)爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐和等離子爐等。

　　高溫真空氣氛爐一般在春秋季節(jié)泄漏故障較多，長期閑置的高溫真空氣氛爐在才次使用時(shí)高溫真空氣氛爐泄漏故障比較易發(fā)生。這時(shí)間就必須進(jìn)行真空檢漏，真空檢漏一般采取每月一次測壓升率(在常溫下，關(guān)閉所有真空閥，停止真空系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)，10min后讀一個(gè)數(shù)，1h后再讀一個(gè)數(shù)，兩數(shù)之差是壓升率的數(shù)值)，掌握設(shè)備泄漏變化趨勢(shì)，如真空設(shè)備連續(xù)停機(jī)一個(gè)禮拜，要空運(yùn)轉(zhuǎn)一次（進(jìn)行烘爐）。